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產(chǎn)品資料
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小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀

產(chǎn)品名稱: 小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀
產(chǎn)品型號: CRDS
產(chǎn)品特點: 小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀
技術路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術,通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間,直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度,無需化學試劑或耗材 。

小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀 的詳細介紹

小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀

小型高靈敏度潔凈室檢測氣體分析檢測儀

  1. 技術路線
    采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術,通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間,直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度,無需化學試劑或耗材 。
  1. 技術路線
    采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術,通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間,直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度,無需化學試劑或耗材 。
  1. 技術路線
    采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術,通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間,直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度,無需化學試劑或耗材 。
  1. 代表機型
    • 在 SPARK 基礎上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道,同樣免維護
    • 主要面向超高純氣體與半導體工藝
    • 免校準、免耗材,生命周期成本低
    • 小流量即可高響應,可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
    • 適用于高純氣體、半導體特氣、低溫分離裝置等場景
    • SPARK 系列
    • HALO KA Max 系列
  2. 性能亮點
    • 檢測下限:常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
    • 免校準、長期零漂移,適合無人值守在線運行
    • 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì),可測腐蝕性氣體;傳感器與激光/探測器非接觸,長期穩(wěn)定性高
  3. 典型應用
    • 半導體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監(jiān)控
    • 空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
    • 鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢
  4. 使用與維護
    • 開機即用,無需量程切換、漂移校正或耗材更換
    • 結(jié)構(gòu)緊湊,可臺式、19″機架或便攜式安裝;支持模擬/數(shù)字輸出,方便接入 DCS
總結(jié):TEKHNE 的 CRDS 分析計以“免校準、免耗材、ppb 級精度"為核心賣點,SPARK 與 HALO KA Max 兩大系列覆蓋了從現(xiàn)場抽檢到半導體超純氣體在線監(jiān)測的多種需求,是當前痕量水分和氣體雜質(zhì)檢測的利器。
  1. 代表機型
    • 在 SPARK 基礎上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道,同樣免維護
    • 主要面向超高純氣體與半導體工藝
    • 免校準、免耗材,生命周期成本低
    • 小流量即可高響應,可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
    • 適用于高純氣體、半導體特氣、低溫分離裝置等場景
    • SPARK 系列
    • HALO KA Max 系列
  2. 性能亮點
    • 檢測下限:常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
    • 免校準、長期零漂移,適合無人值守在線運行
    • 接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì),可測腐蝕性氣體;傳感器與激光/探測器非接觸,長期穩(wěn)定性高
  3. 典型應用
    • 半導體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監(jiān)控
    • 空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
    • 鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢
  4. 使用與維護
    • 開機即用,無需量程切換、漂移校正或耗材更換
    • 結(jié)構(gòu)緊湊,可臺式、19″機架或便攜式安裝;支持模擬/數(shù)字輸出,方便接入 DCS
總結(jié):TEKHNE 的 CRDS 分析計以“免校準、免耗材、ppb 級精度"為核心賣點,SPARK 與 HALO KA Max 兩大系列覆蓋了從現(xiàn)場抽檢到半導體超純氣體在線監(jiān)測的多種需求,是當前痕量水分和氣體雜質(zhì)檢測的利器。


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