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產(chǎn)品資料
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緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀

產(chǎn)品名稱: 緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀
產(chǎn)品型號: DI-100M
產(chǎn)品特點: 緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀
日本 Kod-Level DI-100M 是一款“緊湊型、無耐沖擊性"數(shù)字水平測量儀,專為靜止平臺、實驗室夾具、精密裝配、計量室等無沖擊、無振動、高精度場景設計。儀器把高精度電解液傳感器 + 溫度補償 + RS-485 數(shù)字輸出集成到手掌大外殼,0.001 mm/m(0.2 arcsec)分辨率,±0.01 mm/m 精度,無機械可動部,長期漂移 < 0.005

緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀 的詳細介紹

緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀

緊湊型精密平臺數(shù)字基準水平測量儀

日本 Kod-Level DI-100M 是一款“緊湊型、無耐沖擊性"數(shù)字水平測量儀,專為靜止平臺、實驗室夾具、精密裝配、計量室無沖擊、無振動、高精度場景設計。儀器把高精度電解液傳感器 + 溫度補償 + RS-485 數(shù)字輸出集成到手掌大外殼,0.001 mm/m(0.2 arcsec)分辨率,±0.01 mm/m 精度,無機械可動部長期漂移 < 0.005 mm/m/年,是計量院、光刻機平臺、直線導軌、精密平臺靜態(tài)數(shù)字水平基準。

? 核心賣點

  • 無沖擊型無氣泡可動部電解液式,抗沖擊 0 g(僅限靜態(tài)使用)
  • 超高分辨率0.001 mm/m(≈ 0.2 arcsec)±0.01 mm/m 精度
  • 超緊湊80 × 60 × 35 mm / 0.22 kg,磁吸底 + M4 螺孔(可嵌入平臺)
  • 溫度補償內(nèi)置 PT100,-10 – 50 °C 自動補償,溫漂 < 0.001 mm/m/°C
  • 數(shù)字輸出RS-485(Modbus RTU)+ 0-5 V 模擬,1 Hz – 10 Hz 可設
  • 長期穩(wěn)定年漂移 < 0.005 mm/m無需年度機械調(diào)零
  • 低功耗DC 5 V 100 mA(USB 直驅(qū)),連續(xù)運行不發(fā)熱

?? 技術參數(shù)(DI-100M)

表格
復制
項目參數(shù)
傳感器原理高精度電解液式(無氣泡)
量程±2 mm/m(≈ ±400 arcsec)
分辨率0.001 mm/m(≈ 0.2 arcsec)
精度±0.01 mm/m(20 °C)
溫度系數(shù)< 0.001 mm/m/°C(自動補償)
長期漂移< 0.005 mm/m/年(靜態(tài))
響應時間1 s(數(shù)字)/ 0.1 s(模擬 10 Hz)
輸出接口RS-485(Modbus RTU)+ 0-5 V 模擬
采樣頻率1 – 10 Hz 可設
供電DC 5 V ±5 %,100 mA(USB-A 直插)
工作環(huán)境0 – 50 °C,< 80 % RH(無冷凝)
外殼材質(zhì)陽極氧化鋁 + 氟橡膠密封
尺寸/重量80 × 60 × 35 mm / 0.22 kg
安裝磁吸底(可選)+ M4 × 2 螺孔
防護IP54(無窗口)

?? 典型應用

  • 計量院平臺直線導軌直線度 0.01 mm/m逐點掃描
  • 光刻機底座靜態(tài)調(diào)平 < 0.002 mm/m,長期監(jiān)測
  • 三坐標導軌Y 軸俯仰角實時記錄溫度補償后修正誤差
  • 精密裝配顯微鏡底板調(diào)平,0.001 mm/m 分辨率
  • 直線電機平臺磁隙平行度靜態(tài)調(diào)整,無沖擊環(huán)境


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