亚洲精品无码精品MV在线观看,青青草黄色电影,最近国产高清中文字幕网,国产精品又爽又粗又长又硬

產(chǎn)品資料
首頁 >>> 產(chǎn)品中心 >>> 機械設備 >>> 干燥機 >>> OKH -系列應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

產(chǎn)品名稱: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
產(chǎn)品型號: OKH -系列
產(chǎn)品特點: 應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機
日本 OKK（大宮工業(yè)）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。
? 核心賣點
公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機 的詳細介紹

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

應用于半導體晶圓清洗后去水熱風旋轉干燥機

日本 OKK（大宮工業(yè)）OKH-系列是一款公轉式（軌道旋轉）旋轉干燥機，專為半導體晶圓、精密基板的高速甩干、去水、熱風干工藝設計，廣泛應用于晶圓清洗后干燥、顯影后干燥、CMP 后清洗干燥等工序。

? 核心賣點

  • 公轉式旋轉：晶圓自轉 + 公轉雙重運動，無中心水滴殘留，干燥均勻性 ≤ 1 mm 水滴直徑
  • 高潔凈設計：ISO Class 5（100 級）兼容，不銹鋼鏡面 + 氟樹脂涂層，無顆粒、無金屬污染
  • 高速旋轉：最高 3,000 rpm（可調(diào)），G-Force 1,200 × g，干燥時間 ≤ 15 秒/片
  • 熱風干 + N?  purge：內(nèi)置 HEPA + 加熱器（室溫~120 °C），可切換 N?，防止氧化/水痕
  • 多尺寸兼容：2~8 英寸（50 mm – 200 mm）晶圓，無需更換夾具，一鍵切換
  • 顆粒控制：< 10 pcs @ 0.2 µm（激光粒子計數(shù)器驗證），滿足 7 nm 節(jié)點要求

?? 技術參數(shù)（OKH-800 為例）

表格
復制
項目參數(shù)
旋轉方式公轉 + 自轉（行星式）
最大轉速3,000 rpm（變頻調(diào)速）
旋轉加速度1.2 秒升至 3,000 rpm
干燥時間5 – 15 s（可調(diào)）
晶圓尺寸2″ 3″ 4″ 5″ 6″ 8″（通用夾具）
潔凈等級ISO 5（100 級）
干燥溫度室溫 – 120 °C（PID 控制 ±1 °C）
氣體潔凈空氣或 N?（切換閥）
過濾HEPA 0.1 µm，效率 ≥ 99.995 %
材質(zhì)304 不銹鋼 + 氟樹脂涂層
電源AC 200 V 三相 50/60 Hz，1.2 kW
尺寸/重量600 × 600 × 1,200 mm，≈85 kg
控制7 寸觸控 + PLC，可存 50 組 recipe
數(shù)據(jù)輸出RS-485（Modbus RTU） + 以太網(wǎng)

?? 機型一覽

表格
復制
型號最大片徑轉速備注
OKH-5004 英寸2,000 rpm實驗室桌面型
OKH-8008 英寸3,000 rpm產(chǎn)線主力型
OKH-120012 英寸（300 mm）2,500 rpm450 mm 晶圓預備

?? 典型工藝

  • RCA 清洗后干燥：旋轉 + 熱 N?，無水痕、無顆粒再附著
  • 顯影后干燥：低轉速 500 rpm + 常溫 N?，防止圖案坍塌
  • CMP 后清洗干燥：高速 2,500 rpm + 80 °C 熱風，去除殘留漿料
  • SOI 薄片干燥：公轉式支撐，無邊緣缺口、無裂紋

?? 選配功能

  • 靜電消除：內(nèi)置離子棒，表面電位 < 50 V
  • 旋轉監(jiān)測：實時反饋 rpm，偏差 > 1 % 報警
  • 化學液滴加：可升級 IPA 滴加系統(tǒng)，Marangoni 干燥
  • FFU 聯(lián)動：可與潔凈室 FFU 同步啟停，節(jié)能 30 %

?? 總結

OKK OKH-系列 = “公轉式晶圓甩干機"里的高速、高潔凈、多尺寸兼容方案，干燥時間 < 15 秒，顆粒增量 < 10 pcs (0.2 µm)，滿足7 nm 節(jié)點要求，是日本半導體產(chǎn)線（晶圓廠、封測廠）里常見的清洗后干燥標準機型。



產(chǎn)品留言

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

深圳市秋山貿(mào)易有限公司版權所有 地址：深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002

13823147203
13823147203
在線客服
手機
13823147203

微信同號
夏津县| 新安县| 清新县| 奉贤区| 景德镇市| 嘉定区| 大城县| 班玛县| 且末县| 南汇区| 遵义县| 遂川县| 志丹县| 洪泽县| 清镇市| 松桃| 朝阳县| 张掖市| 手游| 隆尧县| 吉安市| 兴安县| 桃江县| 定结县| 龙里县| 奎屯市| 嘉义县| 尖扎县| 赤水市| 阳朔县| 延津县| 东乌珠穆沁旗| 电白县| 东平县| 长治县| 汤阴县| 平罗县| 嵊州市| 嘉黎县| 青州市| 泸州市|