真空環(huán)境測(cè)量用氧化鋯式氧氣濃度計(jì)
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氧化鋯傳感器與超薄轉(zhuǎn)換器分離，可直接插入真空腔，無(wú)需采樣泵
測(cè)量范圍 10 ppm–100 %O?，響應(yīng) T??＜1 s
標(biāo)配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導(dǎo)體真空鍍膜、刻蝕等高速產(chǎn)線
氧化鋯傳感器與超薄轉(zhuǎn)換器分離，可直接插入真空腔，無(wú)需采樣泵
測(cè)量范圍 10 ppm–100 %O?，響應(yīng) T??＜1 s
標(biāo)配 EtherCAT 接口，適合嵌入半導(dǎo)體真空鍍膜、刻蝕等高速產(chǎn)線
氧化鋯傳感器與超薄轉(zhuǎn)換器分離，可直接插入真空腔，無(wú)需采樣泵
測(cè)量范圍 10 ppm–100 %O?，響應(yīng) T??＜1 s
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氧化鋯傳感器與超薄轉(zhuǎn)換器分離，可直接插入真空腔，無(wú)需采樣泵
測(cè)量范圍 10 ppm–100 %O?，響應(yīng) T??＜1 s
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測(cè)量范圍 10 ppm–100 %O?，響應(yīng) T??＜1 s
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