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產(chǎn)品資料
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半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器
產(chǎn)品型號: CW 213nm
產(chǎn)品特點: 半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器
連續(xù)波 · 213 nm 深紫外 · 半導(dǎo)體檢測 · 工業(yè)級
5-500 mW · ±0.1 % 穩(wěn)定性 · 真空 ≤1×10?? Pa · 5 年壽命 · 即插即用

半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器 的詳細介紹

半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器

半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器

一、產(chǎn)品定位

  • 半導(dǎo)體檢測工業(yè)用：膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
  • 連續(xù)波 213 nm：深紫外 DUV，連續(xù)波，5-500 mW，±0.1 % 穩(wěn)定性
  • 工業(yè)級：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工業(yè)級漂移
  • Opt-Oxide CW 213nm：CW 連續(xù)波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技術(shù)參數(shù)（CW 213nm）

表格
復(fù)制
項目參數(shù)
波長213 nm（深紫外 DUV）
類型連續(xù)波（CW）
功率范圍5 – 500 mW（連續(xù)可調(diào)）
穩(wěn)定性±0.1 %（1 h，恒溫）
真空度≤ 1×10?? Pa（真空版）
大氣版可選（內(nèi)置除塵窗）
溫度范圍0 – 180 ℃（全范圍）
真空接口NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40）
電源DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
接口FC/SMA905 光纖（真空饋通）
尺寸/重量Φ25×80 mm，0.28 kg
壽命5 年（連續(xù)運行）

三、功能亮點

  1. 213 nm 深紫外：DUV 連續(xù)波，適合 < 5 nm 超薄膜測定
  2. ±0.1 % 超高穩(wěn)定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重復(fù)性 < 0.01 nm
  3. 5-500 mW 連續(xù)可調(diào)：5-500 mW 連續(xù)可調(diào)，適合不同工藝段
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
  5. 0.28 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
  6. 5 年壽命：連續(xù)波無磨損，5 年免維護

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制
半導(dǎo)體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 連續(xù)照射
  • 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗證）

  • 真空：1×10?? Pa，25 ℃
  • CW-213nm：
    • 功率 100 mW（±0.1 %）
    • 穩(wěn)定性 ±0.1 %（1 h）
    • 壽命 5 年（連續(xù)運行）

六、選型與配件

表格
復(fù)制
件號說明
CW-213-VAC真空版（≤1×10?? Pa）
CW-213-AIR大氣版（內(nèi)置除塵窗）
CW-213-FCFC 光纖接口（真空饋通）
CW-213-DRIVER24 V 驅(qū)動器（含）

一、產(chǎn)品定位

  • 半導(dǎo)體檢測工業(yè)用：膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
  • 連續(xù)波 213 nm：深紫外 DUV，連續(xù)波，5-500 mW，±0.1 % 穩(wěn)定性
  • 工業(yè)級：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工業(yè)級漂移
  • Opt-Oxide CW 213nm：CW 連續(xù)波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技術(shù)參數(shù)（CW 213nm）

表格
復(fù)制
項目參數(shù)
波長213 nm（深紫外 DUV）
類型連續(xù)波（CW）
功率范圍5 – 500 mW（連續(xù)可調(diào)）
穩(wěn)定性±0.1 %（1 h，恒溫）
真空度≤ 1×10?? Pa（真空版）
大氣版可選（內(nèi)置除塵窗）
溫度范圍0 – 180 ℃（全范圍）
真空接口NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40）
電源DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器）
接口FC/SMA905 光纖（真空饋通）
尺寸/重量Φ25×80 mm，0.28 kg
壽命5 年（連續(xù)運行）

三、功能亮點

  1. 213 nm 深紫外：DUV 連續(xù)波，適合 < 5 nm 超薄膜測定
  2. ±0.1 % 超高穩(wěn)定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重復(fù)性 < 0.01 nm
  3. 5-500 mW 連續(xù)可調(diào)：5-500 mW 連續(xù)可調(diào)，適合不同工藝段
  4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
  5. 0.28 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動，實驗室即用
  6. 5 年壽命：連續(xù)波無磨損，5 年免維護

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制
半導(dǎo)體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘
  • 真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 連續(xù)照射
  • 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗證）

  • 真空：1×10?? Pa，25 ℃
  • CW-213nm：
    • 功率 100 mW（±0.1 %）
    • 穩(wěn)定性 ±0.1 %（1 h）
    • 壽命 5 年（連續(xù)運行）

六、選型與配件

表格
復(fù)制
件號說明
CW-213-VAC真空版（≤1×10?? Pa）
CW-213-AIR大氣版（內(nèi)置除塵窗）
CW-213-FCFC 光纖接口（真空饋通）
CW-213-DRIVER24 V 驅(qū)動器（含）



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