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產(chǎn)品資料

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半導(dǎo)體領(lǐng)域用標準夾緊型超聲波流量計

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體領(lǐng)域用標準夾緊型超聲波流量計

產(chǎn)品型號: CO.65/xxxPI V2.0

產(chǎn)品特點: 半導(dǎo)體領(lǐng)域用標準夾緊型超聲波流量計
半導(dǎo)體行業(yè)超聲波流量計 CO.65/xxxPI V2.0
夾緊型 · 管用 · 半導(dǎo)體級 · 超聲波 · 0.65-65 L/min
±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.28 kg · 5 年壽命

半導(dǎo)體領(lǐng)域用標準夾緊型超聲波流量計 的詳細介紹

半導(dǎo)體領(lǐng)域用標準夾緊型超聲波流量計

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學(xué)品
夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa

二、核心技術(shù)參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）

表格

復(fù)制

項目	參數(shù)
原理	超聲波（時差法）
流量范圍	0.65 – 65 L/min（全范圍）
精度	±0.5 %RDG（0.65-65 L/min）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大氣版	可選（內(nèi)置泵）
響應(yīng)時間	< 0.1 s（超聲波）
潔凈等級	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
接口	夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28）
電源	DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量	148×80×35 mm，0.28 kg

二、核心技術(shù)參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）

表格

復(fù)制

項目	參數(shù)
原理	超聲波（時差法）
流量范圍	0.65 – 65 L/min（全范圍）
精度	±0.5 %RDG（0.65-65 L/min）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大氣版	可選（內(nèi)置泵）
響應(yīng)時間	< 0.1 s（超聲波）
潔凈等級	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
接口	夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28）
電源	DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器）
尺寸/重量	148×80×35 mm，0.28 kg