科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈

產(chǎn)品名稱: 科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈

產(chǎn)品型號(hào): A3611S

產(chǎn)品特點(diǎn): 科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈
深紫外 UV-VIS 光譜儀標(biāo)準(zhǔn)光源 · 190-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 · 長(zhǎng)壽命
適用于半導(dǎo)體、LCD、科研光譜分析

科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈 的詳細(xì)介紹

科研光譜分析90-400 nm 深紫外光源D2燈

深紫外 UV-VIS 光譜儀標(biāo)準(zhǔn)光源 · 190-400 nm 峰值 · 高穩(wěn)定性 · 長(zhǎng)壽命
適用于半導(dǎo)體、LCD、科研光譜分析

一、產(chǎn)品定位

D2燈（Deuterium Lamp）：190-400 nm 深紫外標(biāo)準(zhǔn)光源
Milas 供應(yīng)：日本原廠，真空/大氣雙版本，高穩(wěn)定性
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體膜厚、LCD 配向膜、UV-VIS 光譜儀、科研分析
替代型號(hào)：Hamamatsu L2D2、Heraeus D2plus、Ocean Insight DH-2000

二、核心技術(shù)參數(shù)（Milas D2燈）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
光源類(lèi)型	深紫外氘燈（D2 Lamp）
波長(zhǎng)范圍	190 – 400 nm（峰值 280 nm）
輸出穩(wěn)定性	< ±0.1 %（10 min，恒溫）
啟動(dòng)時(shí)間	< 5 min（至穩(wěn)定）
燈電流	300 mA（典型）
燈電壓	90 V（典型）
燈壽命	2,000 h（真空版） / 3,000 h（大氣版）
真空度	≤ 1×10?? Pa（真空版）
大氣版	可選（內(nèi)置除塵窗）
電源	DC 12 V / 24 V（含驅(qū)動(dòng)器）
接口	SMA905 / FC 光纖（真空饋通）
尺寸/重量	Φ20×70 mm，0.2 kg（燈頭）

三、功能亮點(diǎn)

190-400 nm 深紫外：適合 < 5 nm 超薄膜測(cè)定，高分辨率
< ±0.1 % 穩(wěn)定性：基線漂移 < 0.1 mAU，無(wú)需頻繁校準(zhǔn)
真空/大氣雙版本：真空度 ≤ 1×10?? Pa，潔凈室兼容
>2,000 h 壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
SMA905/FC 光纖：真空饋通，即插即用，無(wú)對(duì)
0.2 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機(jī)械負(fù)載

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制

半導(dǎo)體膜厚測(cè)定┌─ 真空腔體 ─┐│               │光源← Milas D2 ← 真空饋通 SMA905│               │└─ 光譜儀 ────┘

真空度 ≤ 1×10?? Pa，190-400 nm 照射
光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.05 nm

五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（膜厚測(cè)定驗(yàn)證）

樣品：SiO? 5 nm 薄膜，真空 1×10?? Pa
Milas D2 真空版：

穩(wěn)定性 ±0.05 %（10 min）
膜厚重復(fù)性 0.03 nm（10 次）
壽命 2,000 h（真空版）

六、選型與配件

表格

復(fù)制

件號(hào)	說(shuō)明
Milas-D2-VAC	真空版（≤1×10?? Pa）
Milas-D2-AIR	大氣版（內(nèi)置除塵窗）
Milas-D2-SMA	SMA905 光纖接口（真空饋通）
Milas-D2-DRIVER	12 V/24 V 驅(qū)動(dòng)器（含）

七、維護(hù)與可靠性

燈壽命：真空版 2,000 h，大氣版 3,000 h
光纖：真空饋通，每月清潔一次
驅(qū)動(dòng)器：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論

Milas D2燈以「190-400 nm 深紫外 + <±0.1 % 穩(wěn)定性 + 真空/大氣雙版 + >2,000 h 壽命」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體、LCD、科研獲得「深紫外、高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命」標(biāo)準(zhǔn)光源，是 D2 燈的「膜厚標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」

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