我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機(jī)的組合，實(shí)現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實(shí)現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實(shí)現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機(jī)和高精度放電加工機(jī)的索迪克高速運(yùn)動控制（SLMC）系統(tǒng)。

我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機(jī)的組合，實(shí)現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實(shí)現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實(shí)現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機(jī)和高精度放電加工機(jī)的索迪克高速運(yùn)動控制（SLMC）系統(tǒng)。

我們集成了索迪克的核心技術(shù)，開發(fā)出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。

非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)（上軸、下軸）
通過空氣靜承和無芯直線電機(jī)的組合，實(shí)現(xiàn)了非接觸導(dǎo)引結(jié)構(gòu)。沒有磨損和產(chǎn)生灰塵的擔(dān)憂，能夠長時間保持亞微米的運(yùn)動精度和姿態(tài)精度。

反力取消結(jié)構(gòu)
上軸采用了取消加速反力的對抗臺結(jié)構(gòu)。即使在高速位置檢測時，通過加速反力取消結(jié)構(gòu)也能實(shí)現(xiàn)無振動和高精度的位置檢測。

實(shí)現(xiàn)納米級別的位置控制
我們采用的是擁有眾多超精密加工機(jī)和高精度放電加工機(jī)的索迪克高速運(yùn)動控制（SLMC）系統(tǒng)。