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產(chǎn)品資料
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腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì)

產(chǎn)品名稱: 腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì)
產(chǎn)品型號: CRDS型
產(chǎn)品特點(diǎn): 腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì)
高精度測量
寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點(diǎn))的微量水分。
高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準(zhǔn)。

腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì) 的詳細(xì)介紹

腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì)

腐蝕性氣體測量高速響應(yīng)小型CRDS微量水分計(jì)

高精度測量

  • 寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點(diǎn))的微量水分。
  • 高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準(zhǔn)。

高速響應(yīng)

  • 快速響應(yīng):對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化,響應(yīng)時(shí)間約60秒(90%響應(yīng))。

長期穩(wěn)定性與耐腐蝕性

  • 耐腐蝕性:傳感器部分采用耐腐蝕材料,適合測量腐蝕性氣體。
  • 長期穩(wěn)定性:采用CRDS技術(shù),不依賴激光功率,具有長期測量可靠性。

小型化與便攜性

  • 小型設(shè)計(jì):檢測部(腔)小型化,便于攜帶和安裝。
  • 分離式設(shè)計(jì):傳感器部分和監(jiān)測部分可分離,便于遠(yuǎn)程監(jiān)控和靈活安裝。

測量原理

  • CRDS技術(shù):基于光腔衰蕩光譜法(CRDS),通過測量光在腔內(nèi)的衰減時(shí)間來直接計(jì)算水分含量。

應(yīng)用場景

  • 半導(dǎo)體行業(yè):適用于半導(dǎo)體制造中的高純氣體微量水分測量。
  • 其他工業(yè)應(yīng)用:還可用于鋰離子電池、全固態(tài)電池、雙電層電容器、有機(jī)電致發(fā)光、平板顯示器等領(lǐng)域的微量水分測量。

技術(shù)參數(shù)

  • 樣氣溫度:5至60℃。
  • 樣氣流量:<2.0 L/min。
  • 樣氣壓力:86至106 kPaA。
  • 輸出功能:支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出,以及RS-232C的數(shù)字輸出。
  • 電源:AC適配器(100-240V,50/60Hz,最大1.4A)。
  • 尺寸與重量:傳感器部分約5kg,監(jiān)測部分約1.7kg。

用戶友好設(shè)計(jì)

  • LCD顯示屏:配備LCD顯示屏,操作界面友好,易于使用。
  • 靈活安裝:支持多種安裝方式,包括臺(tái)式、壁掛式。
該設(shè)備以其高精度、快速響應(yīng)、小型化設(shè)計(jì)和長期穩(wěn)定性,成為半導(dǎo)體高純氣體微量水分測量的理想選擇。

高精度測量

  • 寬量程:可測量12 ppbv至20 ppmv(-100至-55℃露點(diǎn))的微量水分
  • 高精度:系統(tǒng)精度為±4%或±12 ppbv,以較大值為準(zhǔn)
    。

高速響應(yīng)

  • 快速響應(yīng):對于50 ppbv至1000 ppbv的水分變化,響應(yīng)時(shí)間約60秒(90%響應(yīng))
    。

長期穩(wěn)定性與耐腐蝕性

  • 耐腐蝕性:傳感器部分采用耐腐蝕材料,適合測量腐蝕性氣體
    。
  • 長期穩(wěn)定性:采用CRDS技術(shù),不依賴激光功率,具有長期測量可靠性
    。

小型化與便攜性

  • 小型設(shè)計(jì):檢測部(腔)小型化,便于攜帶和安裝
  • 分離式設(shè)計(jì):傳感器部分和監(jiān)測部分可分離,便于遠(yuǎn)程監(jiān)控和靈活安裝

測量原理

  • CRDS技術(shù):基于光腔衰蕩光譜法(CRDS),通過測量光在腔內(nèi)的衰減時(shí)間來直接計(jì)算水分含量

應(yīng)用場景

  • 半導(dǎo)體行業(yè):適用于半導(dǎo)體制造中的高純氣體微量水分測量
    。
  • 其他工業(yè)應(yīng)用:還可用于鋰離子電池、全固態(tài)電池、雙電層電容器、有機(jī)電致發(fā)光、平板顯示器等領(lǐng)域的微量水分測量
    。

技術(shù)參數(shù)

  • 樣氣溫度:5至60℃
  • 樣氣流量:<2.0 L/min
    。
  • 樣氣壓力:86至106 kPaA
    。
  • 輸出功能:支持4-20mA、0-5VDC的模擬輸出,以及RS-232C的數(shù)字輸出
    。
  • 電源:AC適配器(100-240V,50/60Hz,最大1.4A)
    。
  • 尺寸與重量:傳感器部分約5kg,監(jiān)測部分約1.7kg
    。

用戶友好設(shè)計(jì)

  • LCD顯示屏:配備LCD顯示屏,操作界面友好,易于使用
    。
  • 靈活安裝:支持多種安裝方式,包括臺(tái)式、壁掛式
該設(shè)備以其高精度、快速響應(yīng)、小型化設(shè)計(jì)和長期穩(wěn)定性,成為半導(dǎo)體高純氣體微量水分測量的理想選擇。


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