第1點
對晶圓上的掉落灰塵進行分類??梢酝ㄟ^測量圖像確認顏色區(qū)分顯示異物情況?
分級?通過顏色區(qū)分顯示易于理解?
潔凈室觀察用落塵粗大粒子計數器
潔凈室觀察用落塵粗大粒子計數器
RACCAR對導致產品故障的直接原因“粗大顆粒"進行分類處理。正在計數中。
只需設置采集板并用RACCAR進行測量,即可確認制造工序內所有部位的粗大粒子狀況。
在粒子計數器中確認的微粒與粗粒子的行為不同。管理粗大粒子正是應對不良對策的捷徑!
"粗大粒子計數器"RACCAR"使用4英寸硅芯片作為樣品板," 用于對樣品板上的粗大粒子進行分類和計數的裝置 是的。結果會顯示在附帶的電腦上,并保存數據。可以解析。
"粗大粒子計數器"RACCAR"使用4英寸硅芯片作為樣品板," 用于對樣品板上的粗大粒子進行分類和計數的裝置 是的。結果會顯示在附帶的電腦上,并保存數據??梢越馕觥?/p>
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