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產(chǎn)品資料
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本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵

產(chǎn)品名稱: 本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵
產(chǎn)品型號(hào): FS系列
產(chǎn)品特點(diǎn): 本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵FS系列
提升泵的沖程速度 (gao達(dá)240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動(dòng)。

本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵 的詳細(xì)介紹

本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵FS系列

本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵


高速?zèng)_程

提升泵的沖程速度 (gao達(dá)240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動(dòng)。

無(wú)污染設(shè)計(jì)

過流端零件均采用氟樹脂材質(zhì),沒有金屬零件外露的設(shè)計(jì),外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用*的軸封,能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C,吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時(shí)適用于化學(xué)液體供藥。

易于維護(hù)

更換開關(guān)無(wú)需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機(jī)時(shí)間。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。


規(guī)格

大吐出量

55 L/min

大吐出壓力

0.5 MPa

大耗氣量

670 NL/min

大沖程率

240 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 180 °C

本易威奇iwaki小型高速?zèng)_程的氣動(dòng)風(fēng)囊泵FS系列

高速?zèng)_程

提升泵的沖程速度 (gao達(dá)240 spm),讓制造過程中,大大減少泵的尺寸、重量、成本,及降低脈動(dòng)。

無(wú)污染設(shè)計(jì)

過流端零件均采用氟樹脂材質(zhì),沒有金屬零件外露的設(shè)計(jì),外殼采用氟樹脂材質(zhì)。使用*的軸封,能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。

液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力

液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C,吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程,同時(shí)適用于化學(xué)液體供藥。

易于維護(hù)

更換開關(guān)無(wú)需拆卸,不需定期收緊螺栓,減少了停機(jī)時(shí)間。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。


規(guī)格

大吐出量

55 L/min

大吐出壓力

0.5 MPa

大耗氣量

670 NL/min

大沖程率

240 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA

液體輸送溫度范圍

5 ~ 180 °C



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