半導體晶圓生產(chǎn)中使用的鉸接式機器人的振動監(jiān)測技術

使用鉸接式機器人進行生產(chǎn)對于半導體晶圓的生產(chǎn)至關重要。

在這種情況下，機器人在運輸過程中對產(chǎn)品的異常影響是一個主要問題，因為它會導致產(chǎn)品質量下降。

因此，我們的產(chǎn)品“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測何時發(fā)生異常沖擊，因此有將其集成到機器人中的示例。

MA3 系列 3 軸加速度計通過改變模擬電壓輸出 X、Y 和 Z 方向的加速度。 輸出可以導入PLC并通過設置閾值進行判斷。

根據(jù)判斷結果，可以通知異常，在某些情況下，可以停止設備。

“3軸加速度計MA3系列"有兩種類型，通用型和高頻型，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻段進行選擇。

此外，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度大小選擇測量范圍。

能夠處理高G和高頻的3軸加速度計

易于連接，無需內置放大器結構。

國產(chǎn)，高品質，內部校準 配備齊全的質量支持系統(tǒng)。

1. 壓力機異常時自動停機，防止模具損壞和產(chǎn)量損失

• 有廣泛的接送支持。 還可以測量壓力機的高G高頻沖擊。

2. 除了加工設備異常的發(fā)生外，我們還查明原因并提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

• 通過對加速度測量數(shù)據(jù)等進行頻率分析，我們識別出預測異常的部件。

3. 通過將切割設備連接到第三方PLC（定序器），還可以以較低的引入成本進行異常監(jiān)測。

• 由于它具有內置放大器，因此只需將其直接連接到已安裝的PLC即可進行測量。